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常用洁净室洁净度等级有哪些?

作者:河北凯正达净化设备科技有限公司   时间:2018-9-30 23:34:39

洁净室的级别一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同,形成必要的级别是不一样的。例如,在半导体制造工厂等里边,根据作业内容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的净化间。而且,在制药工厂里,根据产品的纯度、作业工序,需有从M3.5到M6.5(100,000)范围广泛的级别不等净化间。因此说,各种产业所需要的净化间,其要求的洁净度是不同的。就一般级别而言,表11可以作为参考。

表11,各产业所要求的净化车间级别一览

领域和产业

洁净度标准(级别)

内容

SI

English unit

半导体工业(IC、LSI等)

掩模板对准工艺

M3.5

100


刻蚀工艺

M3.5

100

腐蚀加工

扩散工艺

M3.5

100

高纯度扩散

蒸着工艺

M3.5

100

高纯度电镀

涂布工艺

M3.5

100

感光剂涂布

电子设备

计算器制造

M5.5

10,000

磁头

阴极射线管

M5.5

10,000,

遮屏

磁带

M5.5

10,000

防止杂音

精密仪器

陀螺、微型轴承

M5.5

10,000

提高精度

导弹部件、继电器

M5.5

10,000

防止误动作

钟表、小型计量仪器

M5.5

10,000

组立、封装、修理

光学、印刷

照相机、印刷电路板

M5.5

10,000

制作

镜头、胶片

M4.5

1,000

连接

电子制版

M5.5

10,000

制作、检查

化学药品

注射液充填

M3.5

100

调和、充填

无菌动物养育

M3.5

100

SPF

化学药品

抗生物

M5.5

10,000

充填、检查

一般医疗品

M6.5

100,000

制造

食品

酿造、发酵

M5.5

10,000

防止酱油、大酱腐坏

乳制品、生食品

M6.5

100,000

防止酸乳酪变质

食肉加工

M5.5

10,000

火腿、香肠